部件上市公司也值得重点关注：

1、茂莱光学（688502，DUV光学透镜）：公司专注于精密光学器件、光学镜头和光学系统的研发、设计、制造及销售，主要产品包括透镜、棱镜和平片（多光谱滤光片、荧光滤光片、太空反射镜等）。在半导体检测及光刻机领域，公司研发生产的半导体检测设备光学系统已成功应用于国际龙头企业KLA、Camtek的半导体检测设备中；公司研发的精密光学器件已应用于国产光刻机中，为光刻机国产化提供了重要支撑，助力我国国产光刻机的技术发展，上海微电子是公司光刻机领域最主要的客户。

2、炬光科技（688167，ASML核心供应商）：公司可提供光刻机曝光系统里核心元器件——光场匀化器，供应给ASML公司。同时与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，亦逐步向日本市场进行渗透。2022年起得益于半导体市场DUV光刻市场需求强烈，终端客户产能扩张迅速，应客户要求公司已于2022年在德国完成产能扩充，并与ASML公司也有意向进一步往光学模组等产品品类展开合作。

3、腾景科技（688195，配套高功率半导体激光器厂商）：公司主要从事各类精密光学元组件、光纤器件研发、生产和销售。据2022年报披露，公司多波段合分束器已完成产品开发，成功进入半导体微电子设备厂供应链。在光纤激光领域，公司与行业主要的光纤激光器厂商建立了合作关系，主要客户包括R客户、nLIGHT等，其中nLIGHT是世界领先的高功率半导体激光器厂商，R客户为全球知名的光纤激光器企业。

4、美埃科技（688376，配套上海微电子，电子半导体洁净室设备龙头）：公司为上海微电子提供的EFU（超薄型设备端自带风机过滤机组）及ULPA（超高效过滤器）等产品可提供光刻机机台内国际最高洁净等级标准（ISO 1级）洁净环境。