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上周某芯工厂实验厂房内安装的上海某国产28纳米DUV试批产成功,并且经过半年多的改进,目前批产初始良率已达75%,预计三季度达到9的良率,并且计划9月前再安装两台作为验证产线,如一切顺利,2025年就国内就可大规模销售这种多重曝光可生产14纳米的国产DUV了,时间节点很符合2025,而且听说因为某太空望远镜项目,国产镜头提升很大,估计2027年前可生产5纳米的DUV,基本对标目前的ASML机型。 | |||
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