| 送交者: bell2020[☆★★声望品衔11★★☆] 于 2023-05-06 11:54 已读 3936 次 1 赞 | bell2020的个人频道 |
6park.com中国60年代就有光刻机，80年代更是世界领先 6park.com1965 年中国科学院研制出 65 型接触式光刻机。 6park.com 6park.com
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1970 年代，中国科学院开始研制计算机辅助光刻掩模工艺。 6park.com6park.com
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1972 年，武汉无线电元件三厂编写了行业生产指导《光刻掩模版的制造》。 6park.com6park.com
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1980 年清华大学研制成功第四代分，光刻精度达到 3 微米，接近国际主流水平 …… 6park.com6park.com
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然而到了上世纪八十年代，包括运 10、直 8、远程轰炸机、大型导弹驱逐舰、长城 / 曙光大型计算机项目、数字焊接系统等一系列军用、民用高精尖技术项目下马，光刻机项目也在其中。彼时武汉无线电元件三厂在光刻机的科研上已经在光刻机项目上有了 20 多年的技术积累，是有可能实现从量变到质变的过程。然而没有了国家经费的支持，一切都成了空谈。1994 年武汉无线电元件三厂破产改制，变成了一家副食品加工厂。
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